今天为大家介绍一下影响分子筛吸附泵极限压力的几个因素。至于如何更有效改善,通过4个方面来为大家解读细节,现在我们一起来具体了解下。
为进一步降低泵的极限压力,改善对惰性气体的抽除能力,对分子筛吸附泵的应用中可以采取以下几个方面的措施:
1、黏滞流输运技术。这种方法也叫二级抽气技术,但并不是两个吸附泵的简单串联,我们在介绍影响因素的时候就提到了,简单串联对泵的极限压力改善并不大。简单原理就是当泵1抽到1.3×102Pa左右时,系统内处于黏滞流状态,这时系统中的惰性气体会随着气流进入到泵1,此时在惰性气体未返回被抽容器之前,关闭阀门1,同时启动泵2。这样会损害泵1的极限压力,但泵2可以减少惰性气体的影响,一般极限压力可以提高到10-2Pa,最高可以达到10-3Pa。而简单的串联,在泵1达到平衡压力后再启动泵2,极限压力一般在10-1Pa左右。
2、气体冲刷法。这个方法其实就是氮气冲洗,利用纯氮赶走空气,使容器中的惰性气体成分等减少,从而提高分子筛吸附泵的极限压力。利用这种方式,分子筛吸附泵的极限压力可以达到10-4~10-5Pa。
3、彻底的再生工艺。分子筛吸附泵在使用多次后会吸附一些不易脱附的气体,因此需要通过加温烘烤再生,一般像水汽会在250~350℃下保持数小时。但对于氢气含量较高的抽气环境,高温会恶化极限压力,此时为降低氢气的分压,再生温度应在150℃左右。或者在机械泵预抽到1.33×10-1Pa或更低的压力下再加温(200℃或300℃)烘烤数小时.这样可以得到10-5Pa左右的极限压力。
4、改善吸附剂的吸附特性。不同的吸附剂对气体的吸附特性不同,如活性炭在低温下对H2、Ne、He的吸附量优于分子筛,13X的分子筛适合抽油蒸气,而5A则擅长水、二氧化碳的吸附等等,根据这些特点使用混合吸附剂来使泵实现更低的极限压力。